[发明专利]III族氮化物结晶的制造方法在审
| 申请号： | 202010078270.X | 申请日： | 2020-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN111519247A | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 森勇介;吉村政志;今西正幸;北本启;泷野淳一;隅智亮 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人大阪大学;松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | C30B28/14 | 分类号： | C30B28/14;C30B29/40 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 葛凡 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种抑制多晶化且提高III族氮化物结晶的品质的III族氮化物结晶的制造方法。III族氮化物结晶的制造方法包括：准备种基板的工序；以及以过饱和比(P |
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| 搜索关键词： | iii 氮化物 结晶 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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