[发明专利]多相绕组偏转扫描装置的控制方法有效
| 申请号： | 202010055350.3 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111161902B | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 黄小东;韦寿祺;费翔;秦玉江;董阳;黄奉宾;郭文明 | 申请（专利权）人： | 桂林狮达技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G21K1/093 | 分类号： | G21K1/093 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 符继超 |
| 地址： | 541004 广西壮族自*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多相绕组偏转扫描装置的控制方法，首先将第1相绕组的偏转扫描轨迹与直角坐标系中的x轴重合，将第1相绕组的轴线定义为直轴，带电粒子束斑点中心原始位置定义为直角坐标系原点；其次将偏转扫描轨迹依次分解成有限点直角坐标数据；再次将扫描点直角坐标数据按比例换算成对应点合励磁电流数据；然后将合励磁电流数据按圆形偏转扫描轨迹原则或正2n边形偏转扫描轨迹原则分解成n相绕组励磁电流数据；再将n相绕组励磁电流数据通过D/A转换器转换成对应的n相控制指令电信号输出至驱动电源，经过驱动电源的n相驱动电路线性放大后提供给对应的n相偏转扫描绕组作为励磁电流。 | ||
| 搜索关键词： | 多相 绕组 偏转 扫描 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
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