[发明专利]多相绕组偏转扫描装置的控制方法

权利要求书

1.一种多相绕组偏转扫描装置的控制方法，其特征在于，包括：

步骤1：定义坐标轴；

步骤2：将所述多相绕组偏转扫描装置(3)的偏转扫描轨迹离散化和数字化，得到所述偏转扫描轨迹上有限扫描点的直角坐标数据(x，y)，并进行存储；

步骤3：将所述偏转扫描轨迹上扫描点的所述直角坐标数据(x，y)换算成合励磁电流数据(I_d，I_q)，其中I_d直轴分量数据，I_q为交轴分量数据；

步骤4：将所述合励磁电流数据(I_d，I_q)按圆形偏转扫描轨迹原则或正2n边形偏转扫描轨迹原则分解成n相绕组励磁电流数据I₁，I₂，…，I_n；

步骤5：根据所述n相绕组励磁电流数据I₁，I₂，…，I_n生成n相控制指令电信号

步骤6：根据所述n相控制指令电信号产生n相励磁电流，所述多相绕组偏转扫描装置(3)实现控制所述偏转扫描轨迹功能。

2.根据权利要求1所述的多相绕组偏转扫描装置的控制方法，其特征在于，通过多相绕组偏转扫描装置控制系统对带电粒子束偏转扫描轨迹进行控制，所述多相绕组偏转扫描装置控制系统包括中央控制器(1)、驱动电源(2)和多相绕组偏转扫描装置(3)；所述中央控制器(1)连接所述驱动电源(2)，所述驱动电源(2)连接所述多相绕组偏转扫描装置(3)；所述多相绕组偏转扫描装置(3)安装在带电粒子束发生器(4)的出口端；所述带电粒子束发生器(4)产生的带电粒子束(41)经过所述偏转扫描装置(3)投射至工作扫描面(5)上，在所述工作扫描面(5)上形成所述偏转扫描轨迹；所述驱动电源(2)根据所述中央控制器(1)发送的所述n相控制指令电信号产生n相励磁电流，令所述多相绕组偏转扫描装置(3)控制带电粒子束(41)在工作扫描面(5)上的斑点中心偏移至直角坐标系(x，y)位置。

3.根据权利要求2所述的多相绕组偏转扫描装置的控制方法，其特征在于，所述步骤1具体实现过程为，调节所述偏转扫描装置(3)的位置，使得第1相所述绕组控制所述带电粒子束(41)在所述工作扫描面(5)上所述斑点中心的所述偏转扫描轨迹与所述直角坐标系的x轴重合且正向一致，所述第1相绕组的轴线定义为所述偏转扫描装置(3)横截面上的直轴，从所述工作扫描面(5)投影上看另外分布有n-1相绕组，所述n-1相绕组从所述第1相绕组按反时针方向依次定义为所述偏转扫描装置(3)的第2、3、…、n相绕组；当所述合励磁电流为零时所述带电粒子束(41)投射在所述工作扫描面(5)上的所述斑点中心位置定义为所述工作扫描面(5)的所述直角坐标系的原点(0，0)。

4.根据权利要求2所述的多相绕组偏转扫描装置的控制方法，其特征在于，所述步骤3具体实现过程为，所述中央控制器将偏转扫描轨迹点的直角坐标数据(x，y)按比例换算成对应点合励磁电流数据(I_d，I_q)，

其中λ为设定常数。

5.根据权利要求2所述的多相绕组偏转扫描装置的控制方法，其特征在于，所述步骤4具体实现过程为，所述中央控制器(1)将所述步骤3中获得的所述合励磁电流数据(I_d，I_q)按圆形偏转扫描轨迹原则或按正2n边形偏转扫描轨迹原则分解成所述n相绕组励磁电流数据I₁，I₂，…，I_n。

6.根据权利要求2所述的多相绕组偏转扫描装置的控制方法，其特征在于，所述步骤5具体实现过程为，所述中央控制器(1)将所述步骤4中获得的所述n相绕组励磁电流数据I₁，I₂，…，I_n分别输入n路D/A转换器，转换成对应的n相控制指令电信号并分别传输至所述驱动电源(2)中对应的n相驱动电路的指令信号输入端。