[发明专利]一种提高硅溶胶颗粒球形度的方法有效
| 申请号： | 202010052969.9 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111186840B | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 庞祥波;李春生;李帅帅 | 申请（专利权）人： | 山东百特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/146 | 分类号： | C01B33/146 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 李桂存 |
| 地址： | 276600 山东省临沂市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高硅溶胶颗粒球形度的方法。具体包括以下步骤：将粒径为10‑150nm的硅溶胶经酸性阳离子交换树脂处理，然后将硅溶胶转移至耐压容器中加热至一定温度并保温一段时间，即可获得颗粒球形度得到提高的硅溶胶产品。与普通硅溶胶相比，采用本发明技术处理的硅溶胶的颗粒形貌呈圆球状且表面圆滑，在电子产品的CMP抛光领域，球形度好的硅溶胶能够减少精密电子器件表面抛光时产生划痕的现象，提升电子器件表面的抛光质量；在仪器校准领域，常采用硅溶胶颗粒作为仪器校准的标准粒子，球形度好的硅溶胶颗粒能够提高仪器校准的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 硅溶胶 颗粒 球形 方法 | ||
【主权项】：
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