[发明专利]半导体器件在审
申请号: | 202010050572.6 | 申请日: | 2020-01-17 |
公开(公告)号: | CN111463277A | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 登尾正人;斋藤顺;渡边行彦 | 申请(专利权)人: | 株式会社电装 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/423 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 刘炳胜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种半导体器件包括倒置型半导体元件,该倒置型半导体元件包括:半导体衬底(1);形成于半导体衬底上的第一导电类型层(2);形成于第一导电类型层上并包括线性形状部分的电场阻挡层(4);形成于第一导电类型层上并具有线性形状部分的JFET(3)部分;形成于电场阻挡层和JFET部分上的电流分散层(5);形成于电场阻挡层和JFET部分上的深层(7);形成于电流分散层和深层上的基区(6);形成于基区上的源区(8);包括栅极沟槽(11)、栅极绝缘膜(12)和栅电极(13)并布置成条形形状的沟槽栅极结构;层间绝缘(14);源电极(15);以及形成于半导体衬底的背表面侧上的漏电极(16)。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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