[发明专利]一种柔性压力传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 202010049358.9 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN113125054B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 韩飞;谢瑞杰;张国旗;叶怀宇;张愿;刘旭 | 申请（专利权）人： | 深圳第三代半导体研究院 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 北京华创智道知识产权代理事务所(普通合伙) 11888 | 代理人： | 彭随丽 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种柔性压力传感器以及相应的制造方法，相对于现有的一些具有锥形或球形微阵列结构的触觉(压力)检测器件，在不损失自身功能的前提下明显降低了传感器厚度。针对不同应用领域的需要，本发明所提供的柔性压力传感器可以被制造成具有特定的曲度，以适应各种异形安装面的共形设置，通过调节电容阵列如密度等的排布方式，也可提供不同的灵敏度与分辨率指标，从而大大拓宽了其未来潜在的应用范围。本发明的制造方法相对于现有技术，省略了制备纳米管薄膜或微凸起结构等的复杂工艺，较好地保证了良率。全过程都可采用现有的商业化设备，而不需要对现有设备改造或升级，从而能够降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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