[发明专利]一种磁控溅射靶材组件及其制备方法有效
| 申请号： | 202010046911.3 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111172505B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 任丽;朱刘;宋世金 | 申请（专利权）人： | 广东先导稀材股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种磁控溅射靶材组件的制备方法，包括以下步骤：先采用石墨烯纳米片为原料制备石墨烯纳米片纸，然后把石墨烯纳米片纸与背板交替叠加在一起后置于平板硫化机下进行压制，即可得到石墨烯纳米片纸/背板复合层，之后把石墨烯纳米片纸/背板复合层与电极、靶材贴合在一起，即可得到磁控溅射靶材组件。本发明提供的一种磁控溅射靶材组件及其制备方法，通过利用石墨烯的高导电、高导热、高表面积的优点，将石墨烯纳米片纸与背板通过物理作用贴合在一起，填补背板与靶材间的空隙，起到导电导热通路的作用，能有效解决现有技术采用绑定技术将增加制备磁控溅射靶材组件的复杂性的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 组件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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