[发明专利]场效应晶体管有效
| 申请号： | 202010044328.9 | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN113130620B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 杨心翮;柳鹏;姜开利;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/78 |
| 代理公司： | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 | 代理人： | 陈实顺 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种场效应晶体管，其包括一栅极，该栅极的表面设置一绝缘层；一源极及一漏极间隔设置于所述绝缘层的表面并与所述栅极绝缘设置；一根碳纳米管设置于所述绝缘层上方，所述碳纳米管具有相对的第一端和第二端以及位于第一端和第二端之间的中间部，所述碳纳米管的第一端与所述源极接触电连接，所述碳纳米管的第二端与所述漏极接触电连接，且所述碳纳米管的中间部形成有缺陷。本发明提供的场效应晶体管在高温下能够完全关断，具有高开关比，且高温开关比可大于10 |
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| 搜索关键词： | 场效应 晶体管 | ||
【主权项】：
暂无信息
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