[发明专利]量测孔状结构的自动光学检测系统有效
| 申请号： | 202010042222.5 | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN111521614B | 公开（公告）日： | 2023-10-17 |
| 发明（设计）人： | 邹嘉骏;林伯聪;黄冠勋;张勋豪 | 申请（专利权）人： | 由田新技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/956;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京维澳知识产权代理有限公司 11252 | 代理人： | 王立民;曾晨 |
| 地址： | 中国台湾新北市中*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种量测孔状结构的自动光学检测系统，包括一光源装置、一远心镜头摄影机以及一图像处理装置。所述光源装置提供至一待测物的一孔状结构，其中所述孔状结构包括一壁特性区域与一面特性区域。所述远心镜头摄影机朝向所述孔状结构，用以获得所述孔状结构的影像，其中所述远心镜头摄影机具有一收光锥角。所述图像处理装置根据所述孔状结构影像的影像特征差异，判断所述孔状结构影像上的所述壁特性区域与所述面特性区域。 | ||
| 搜索关键词： | 量测孔状 结构 自动 光学 检测 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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