[发明专利]量测孔状结构的自动光学检测系统

说明书

本发明公开了一种量测孔状结构的自动光学检测系统，包括一光源装置、一远心镜头摄影机以及一图像处理装置。所述光源装置提供至一待测物的一孔状结构，其中所述孔状结构包括一壁特性区域与一面特性区域。所述远心镜头摄影机朝向所述孔状结构，用以获得所述孔状结构的影像，其中所述远心镜头摄影机具有一收光锥角。所述图像处理装置根据所述孔状结构影像的影像特征差异，判断所述孔状结构影像上的所述壁特性区域与所述面特性区域。

技术领域

本发明涉及一种自动光学检测系统，特别是指一种量测孔状结构的自动光 学检测系统。

背景技术

自动光学检查(Automated Optical Inspection,AOI)，为运用机器视觉 做为检测标准技术，通过机器视觉取代传统人眼辨识以达到高精密度及高效率 的检测，作为改良传统上以人力使用光学仪器进行检测的缺点，应用层面包括 从高科技产业之研发、制造品管、民生、医疗、环保、电力等领域。

在光学检测领域中，复杂表面的检测相对平滑表面较为困难，针对平面不 可视的缺陷(例如盲孔、穿孔的内侧壁面缺陷)，难以由传统的光学方式(例如 平面拍摄)进行检测，这类的缺陷通常需要针对影像捕获设备的相对位置及拍 摄角度进行调整，且必须针对每一个目标区域逐一进行拍摄，以致于在进行这 类的检测时非常的耗时耗功，难以达到相应的效率。

发明内容

本发明的目的是提供一种量测孔状结构的自动光学检测系统，包括一光源 装置、一远心镜头摄影机以及一图像处理装置。光源装置提供至一待测物的一 孔状结构，孔状结构包括一壁特性区域与一面特性区域。远心镜头摄影机朝向 孔状结构，用以获得孔状结构的影像。远心镜头摄影机具有一收光锥角。图像 处理装置根据孔状结构的影像的影像特征差异，判断孔状结构影像上的壁特性 区域与面特性区域。

本发明可以利用孔状结构的面特性区域或壁特性区域的差异，通过调整镜 头的数值孔径，在影像上会产生不同的亮度差异，因此可以观察出侧壁与孔底 /新生截面。

本发明通过远心镜头摄影机拍摄待测物孔状结构的影像，用以获得等倍率 的孔状结构的影像，避免拍摄孔状结构时因距离不同产生的影像畸变的问题， 降低演算的难度。

本发明通过远心镜头摄影机拍摄待测物孔状结构的影像时，可以解决待测 物影像因视角因素导致的不对称以及待测物远近造成放大倍率不一致的问题， 由此摄影机不管在左右上下拍摄都可以获得一致的影像。

附图说明

图1为本发明中自动光学检测系统的方块示意图。

图2为本发明中第一实施例的外观示意图。

图3为本发明中第二实施例的外观示意图。

图4为待测物孔状结构的影像示意图(一)。

图5为待测物孔状结构的影像示意图(二)。

图6为待测物孔状结构的影像示意图(三)。

图7为待测物孔状结构的影像示意图(四)。

图8为孔状结构的局部放大示意图。

附图标记说明：

100 自动光学检测系统

10 光源装置

11 具准直特性光源

111 发光单元

112 分光镜

12 具漫射特性光源

121 发光单元

122 灯罩