[发明专利]量测孔状结构的自动光学检测系统有效
申请号: | 202010042222.5 | 申请日: | 2020-01-15 |
公开(公告)号: | CN111521614B | 公开(公告)日: | 2023-10-17 |
发明(设计)人: | 邹嘉骏;林伯聪;黄冠勋;张勋豪 | 申请(专利权)人: | 由田新技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/956;G01B11/24 |
代理公司: | 北京维澳知识产权代理有限公司 11252 | 代理人: | 王立民;曾晨 |
地址: | 中国台湾新北市中*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 量测孔状 结构 自动 光学 检测 系统 | ||
1.一种量测孔状结构的自动光学检测系统,其特征在于,包括:
一光源装置,提供至一待测物的一孔状结构,所述孔状结构包括一壁特性区域与一面特性区域;
一远心镜头摄影机,朝向所述孔状结构,用以获得所述孔状结构的影像,所述远心镜头摄影机具有一收光锥角;以及
一图像处理装置,根据所述孔状结构的影像的一影像特征差异,判断所述孔状结构影像上的所述壁特性区域与所述面特性区域。
2.根据权利要求1所述的自动光学检测系统,其特征在于,所述影像特征差异包括一亮度特征差异。
3.根据权利要求1所述的自动光学检测系统,其特征在于,所述光源装置包括一具准直特性光源和/或一具漫射特性光源,提供至所述孔状结构。
4.根据权利要求3所述的自动光学检测系统,其特征在于:
所述具准直特性光源或所述具漫射特性光源包括白色光源、蓝色光源、红色光源;
所述具准直特性光源用以提供具准直特性光至所述孔状结构,使所述面特性区域呈现所述影像特征差异;以及
所述具漫射特性光源用以提供具漫射特性光至所述孔状结构,使所述壁特性区域呈现所述影像特征差异。
5.根据权利要求3所述的自动光学检测系统,其特征在于,所述具漫射特性光源包括:
一个或多个发光单元;以及
一灯罩,设置于所述发光单元外侧,所述灯罩的一反射面具有漫反射结构或漫反射材料。
6.根据权利要求1所述的自动光学检测系统,其特征在于:
所述光源装置包括一第一光源与一第二光源,所述第一光源与所述第二光源具有不同的光谱特性;
所述第一光源,用以提供至所述孔状结构,使所述面特性区域呈现所述影像特征差异;以及
所述第二光源,用以提供至所述孔状结构,使所述壁特性区域呈现所述影像特征差异。
7.根据权利要求6所述的自动光学检测系统,其特征在于:
所述第一光源或所述第二光源包括白色光源、蓝色光源、红色光源;以及
所述影像特征差异包括亮度特征差异或色度特征差异。
8.根据权利要求1所述的自动光学检测系统,其特征在于,所述图像处理装置根据所述影像特征差异,判断所述孔状结构影像上的所述壁特性区域的面积与位置或所述面特性区域的面积与位置。
9.根据权利要求1所述的自动光学检测系统,其特征在于,所述图像处理装置根据所述面特性区域的面积与位置以及所述壁特性区域的面积与位置进行影像检测,进一步产生一影像检测结果。
10.根据权利要求9所述的自动光学检测系统,其特征在于:
所述影像检测结果包括孔口形状检测、孔底质量检测、孔壁质量检测或孔底与孔壁连接处质量检测;以及
所述面特性区域包括所述孔状结构的一孔底区域和/或一新生截面区域。
11.根据权利要求10所述的自动光学检测系统,其特征在于,所述影像检测结果包括判断所述孔状结构是否出现所述新生截面区域以及判断所述新生截面区域的高度。
12.根据权利要求10所述的自动光学检测系统,其特征在于,所述待测物为印刷电路板。
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