[发明专利]一种直拉单晶硅炉用碳化硅涂层的碳/碳加热器在审
| 申请号： | 202010033435.1 | 申请日： | 2020-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN111072399A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 樊乾国;贾武林;侯光远;杨浩 | 申请（专利权）人： | 陕西美兰德炭素有限责任公司 |
| 主分类号： | C04B35/83 | 分类号： | C04B35/83;C04B35/622;C04B35/628;C04B41/87;C30B15/14;C30B29/06;H05B1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种直拉单晶硅炉用碳化硅涂层的碳/碳加热器，包括以下步骤：一、将T700碳纤维单向布和碳纤维网胎交替叠层针刺成加热器预制体；二、将碳化硅微粉、无水乙醇和表面活性剂按照一定比列混合为浆料；三、将二中得到的预制体置于85℃的烘干炉内；四、将处理好的加热器预制体放入化学气相沉积炉内；五、将加热器毛坯进行高温石墨化处理；六、将碳/碳加热器毛坯进行机械加工；七、将加工好的碳/碳加热器放入化学气相沉积炉内，得到碳化硅涂层的碳/碳复合材料加热器。其技术方案要点是，本发明的碳化硅涂层是采用化学气相沉积制备的，碳/碳加热器表面涂层较为均匀，有效解决了碳/碳加热器的硅蚀问题，延长了碳/碳加热器的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 碳化硅 涂层 加热器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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