[发明专利]一种用于单晶硅炉重复加料的碳/碳化硅复合材料加料筒

摘要

本发明公开了一种用于单晶硅炉重复加料的碳/碳化硅复合材料加料筒，包括以下步骤：步骤一、将T700碳纤维布和碳纤维网胎交替叠层针刺成筒型预制体，预制体的密度为0.4~0.5g/cm3；步骤二、将筒型预制体放入化学气相沉积炉内增密至1.2~1.3g/cm3；步骤三、将上述坯体放入高温石墨化炉内进行石墨化处理；步骤四、将上述坯体机械加工成加料筒规格；步骤五、将上述机械加工好的坯体，放入立式高温陶瓷化炉内，在坯体内部和表面制备碳化硅。其技术方案优点是，碳/碳化硅复合材料具有很高的硬度及耐磨性，不会对硅料造成二次污染；力学性能优异，加料筒的可靠性大大提高，降低了事故风险；抗热震性能良好，能够承受急冷急热，大大缩短了将加料筒从提拉筒转移出来的时间，有效提高了单晶硅棒生产效率。