[发明专利]一种基于椭偏仪的晶圆参数测量装置在审
| 申请号： | 202010015200.X | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN113155745A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 张瑶瑶;胡冬冬;侯永刚;朱治友;程实然;郭颂;李娜;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/01;G01B11/06 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 彭英 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于椭偏仪的晶圆参数测量装置，包括晶圆定位单元和椭偏仪反射角调节单元；晶圆定位单元包括水平的滚珠丝杠、驱动滚珠丝杠旋转的第一电机、螺纹连接在滚珠丝杠上的螺母座；螺母座上设置有第二电机、基座和载物台；第二电机固定在螺母座上，第二电机的转轴竖直布置；第二电机的转轴连接基座，用于驱动基座转动；载物台通过两个弹性支撑片支撑于基座上方；两个弹性支撑片呈拱形对称布置在载物台两侧；每个弹性支撑片上设置有一个调节螺栓；调节螺栓竖直布置，上端螺帽压接在弹性支撑片上表面，下端螺纹连接在基座上。在使用本发明进行椭偏仪测量时，可高效精确控制晶圆位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 椭偏仪 参数 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏鲁汶仪器有限公司，未经江苏鲁汶仪器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010015200.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种GIS设备带电显示装置
- 下一篇：地刷组件和具有其的吸尘器
