[发明专利]一种基于椭偏仪的晶圆参数测量装置

权利要求书

1.一种基于椭偏仪的晶圆参数测量装置，所述椭偏仪包括入射光发射器和反射光接收器，其特征在于：所述基于椭偏仪的晶圆参数测量装置包括晶圆定位单元和椭偏仪反射角调节单元；

所述晶圆定位单元包括水平的滚珠丝杠（101）、驱动滚珠丝杠（101）旋转的第一电机（102）、螺纹连接在滚珠丝杠（101）上的螺母座（103）；滚珠丝杠（101）旋转时，螺母座（103）沿滚珠丝杠（101）做直线运动；

所述螺母座（103）上设置有第二电机（104）、基座（105）和载物台（106）；所述载物台（106）的上端面用于放置晶圆；

所述第二电机（104）固定在螺母座（103）上，第二电机（104）的转轴竖直布置；所述第二电机（104）的转轴连接基座（105），用于驱动基座（105）转动；所述载物台（106）通过两个弹性支撑片（107）支撑于基座（105）上方；两个所述弹性支撑片（107）呈拱形对称布置在载物台（106）两侧；每个所述弹性支撑片（107）的一端连接在基座（105）上，另一端连接在载物台（106）上；每个所述弹性支撑片（107）上设置有一个调节螺栓（108）；所述调节螺栓（108）竖直布置，上端螺帽压接在弹性支撑片（107）上表面，下端螺纹连接在基座（105）上；

所述椭偏仪反射角调节单元包括第三电机（201）、用于安装入射光发射器的第一传动轴（202）和用于安装反射光接收器的第二传动轴（203）；所述第一传动轴（202）和第二传动轴（202）均平行于滚珠丝杠（101），且对称布置在滚珠丝杠（101）所在竖直平面的两侧；所述第三电机（201）驱动第一传动轴（202）及第二传动轴（203）同步、同转速转动。

2.根据权利要求1所述的基于椭偏仪的晶圆参数测量装置，其特征在于：所述晶圆定位单元还包括壳体（109）和固定在壳体（109）上的两个导向轴（110）；所述第一电机（102）固定在壳体上；两个导向轴（110）均平行于滚珠丝杠（101），且对称布置在滚珠丝杠（101）的左右两侧；所述螺母座（103）上设置有两个导向孔；每个导向轴（110）可滑动穿过一个导向孔。

3.根据权利要求1所述的基于椭偏仪的晶圆参数测量装置，其特征在于：还包括控制单元；所述控制单元包括若干位置传感器（301）和PLC控制器（302）；若干位置传感器（301）沿滚珠丝杠（101）的延伸方向排列在螺母座（103）的一侧，用于检测螺母座（103）在滚珠丝杠（101）的相对位置；所述若干位置传感器（301）的检测信号输入至PLC控制器（302）；所述PLC控制器（302）用于控制第一电机（102）、第二电机（104）和第三电机（201）的启停。

4.根据权利要求3所述的基于椭偏仪的晶圆参数测量装置，其特征在于：所述第一电机（102）通过第一齿轮副（111）驱动连接滚珠丝杠；所述第三电机（201）通过第二齿轮副（204）驱动连接第一传动轴（202），并通过第三齿轮副（205）驱动连接第二传动轴（203）；所述第二齿轮副（204）与第三齿轮副（205）的传动比相同。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的基于椭偏仪的晶圆参数测量装置，其特征在于：所述第一传动轴（202）和/或第二传动轴（203）上设置有分度盘。