[发明专利]研磨清洁的改良装置在审
| 申请号： | 202010009695.5 | 申请日： | 2020-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN111168564A | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 贾先东 | 申请（专利权）人： | 业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/10;B24B27/033;B08B11/04;B08B11/02;B08B1/04 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 杨冬梅;张行知 |
| 地址： | 611730 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨清洁的改良装置，其系包括有一载台及研磨组件，载台系具有一平面用于承载一产品，研磨组件系设置于产品之上方，并具有一转轴，转轴之一端系设置有一无尘布，当转轴旋转时，系通过无尘布对该产品进行研磨清洁，本发明所揭露之载台系同时设计有一正压区与一负压区，其中，正压区系对应设置于产品之外轮廓，负压区系对应设置于载台之中心区域，以真空吸附产品。本发明系藉由在产品之外轮廓附近形成有一气墙，并且通过所形成之气墙，达到阻绝清洁过程中无尘布内溶剂的渗入，并避免该溶剂污染产品，有效提升产品的清洁良率。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 清洁 改良 装置 | ||
【主权项】：
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