[其他]多层加热器涂层、真空系统的部件以及真空系统有效

专利信息
申请号: 201990000448.X 申请日: 2019-01-09
公开(公告)号: CN214381456U 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: P·C·兰布;R·霍勒 申请(专利权)人: 爱德华兹有限公司
主分类号: H05B3/26 分类号: H05B3/26
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 邹龙辉;司昆明
地址: 英国西萨*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 实用新型涉及多层加热器涂层、真空系统的部件以及真空系统,并且特别是涉及一种用于加热真空系统或其部件的多层加热器涂层。所述多层加热器涂层包括:结合到所述真空系统或其部件的表面的内绝缘层;加热器层,其涂覆所述内绝缘层的外表面;以及外绝缘层,其包括涂覆所述加热器层的外表面的陶瓷或玻璃。任选地,多层加热器涂层可以包括至少部分地涂覆外绝缘层的外表面的密封层。本实用新型还涉及一种包括所述多层加热器涂层的真空系统或其部件。
搜索关键词: 多层 加热器 涂层 真空 系统 部件 以及
【主权项】:
暂无信息
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