[其他]多层加热器涂层、真空系统的部件以及真空系统

权利要求书

1.一种用于加热真空系统或其部件的多层加热器涂层，其特征在于，所述多层加热器涂层包括：

内绝缘层，其结合到所述真空系统或其部件的表面，

加热器层，其涂覆所述内绝缘层的外表面，以及

外绝缘层，其包括涂覆所述加热器层的外表面的陶瓷或玻璃，

其中，所述内绝缘层和所述外绝缘层均具有比所述加热器层大的电阻，并且其中，所述外绝缘层比所述内绝缘层导热性差。

2.根据权利要求1所述的多层加热器涂层，其特征在于，所述多层加热器涂层还包括：

密封层，其涂覆所述外绝缘层的外表面。

3.根据权利要求1或2所述的多层加热器涂层，其特征在于，所述加热器层的表面的未绝缘部分未被绝缘层覆盖，并且被构造成使得在使用中来自非永久性电连接器的电流能够穿过所述未绝缘部分。

4.根据权利要求3所述的多层加热器涂层，其特征在于，所述多层加热器涂层还包括电连接器，所述电连接器非永久地联接到所述加热器层的所述未绝缘部分以向所述加热器层提供电力。

5.根据权利要求4所述的多层加热器涂层，其特征在于，所述电连接器磁性地和/或机械地联接到所述多层加热器涂层，和/或所述电连接器被构造成直接接合所述加热器层的所述未绝缘部分或接合涂覆到所述加热器层的所述未绝缘部分上的导电材料。

6.根据权利要求1或2所述的多层加热器涂层，其特征在于，所述内绝缘层包括选自以下材料中的一种材料：陶瓷、聚合物或聚合物基质复合材料。

7.根据权利要求6所述的多层加热器涂层，其特征在于，所述材料为陶瓷。

8.根据权利要求7所述的多层加热器涂层，其特征在于，所述内绝缘层包括选自以下陶瓷中的一种陶瓷：碳化硅、氮化硼、氧化铝、氮化铝、尖晶石或莫来石。

9.根据权利要求8所述的多层加热器涂层，其特征在于，所述陶瓷为氧化铝。

10.根据权利要求1或2所述的多层加热器涂层，其特征在于，通过使用选自包括以下的组中的一种技术来沉积所述内绝缘层、加热器层和/或外绝缘层：高速氧燃料涂层喷涂、电泳沉积（EPD）、低温沉积、电子束物理气相沉积（EBPVD）、空气等离子体喷涂（APS）、静电喷涂辅助气相沉积（ESAVD）、直接气相沉积。

11.根据权利要求1或2所述的多层加热器涂层，其特征在于，所述外绝缘层包括选自以下材料中的一种材料：氧化铝-氧化锆、氧化锆、氧化钇稳定的氧化锆或二氧化硅。

12.根据权利要求1或2所述的多层加热器涂层，其特征在于，所述加热器层是金属的或陶瓷的。

13.根据权利要求12所述的多层加热器涂层，其特征在于，所述加热器层是金属的并且所述加热器层包括白铜、钛合金或铬合金中的一种合金，其中所述铬合金是镍铬合金、铁铬铝合金或钛镍铬合金中的一者。

14.根据权利要求13所述的多层加热器涂层，其特征在于，所述铬合金为钛镍铬合金。

15.根据权利要求12所述的多层加热器涂层，其特征在于，所述加热器层是陶瓷的，并且是二硅化钼或正温度系数陶瓷中的一种，所述正温度系数陶瓷是钛酸钡或钛酸铅。

16.根据权利要求1或2所述的多层加热器涂层，其特征在于，所述加热器层和/或所述内绝缘层的厚度是变化的，和/或所述内绝缘层包括一个或多个不同区域，每个不同区域包括不同的材料。