[其他]多层加热器涂层、真空系统的部件以及真空系统

说明书

本实用新型涉及多层加热器涂层、真空系统的部件以及真空系统，并且特别是涉及一种用于加热真空系统或其部件的多层加热器涂层。所述多层加热器涂层包括：结合到所述真空系统或其部件的表面的内绝缘层；加热器层，其涂覆所述内绝缘层的外表面；以及外绝缘层，其包括涂覆所述加热器层的外表面的陶瓷或玻璃。任选地，多层加热器涂层可以包括至少部分地涂覆外绝缘层的外表面的密封层。本实用新型还涉及一种包括所述多层加热器涂层的真空系统或其部件。

技术领域

本实用新型涉及一种加热的真空系统，并且特别地，涉及一种用于真空系统或其部件的多层加热器涂层。本实用新型还涉及一种制造用于真空系统的多层加热器涂层的方法，以及真空系统及其部件。

背景技术

当物体置于真空下时，嵌入材料内和表面上的气体从它们的表面放出。通过该过程产生气体被称为除气。一旦真空室被粗糙化到低于0.1mbar，除气就逐渐变成总气体负载的显著比例。对于超高真空系统（10^-7mbar或更低），除气是影响脱气和达到极限压力的时间的最重要因素。

可以通过如下来减少除气：从真空泵中除去弹性体、烃油和油脂；避免使用已知具有差的除气性能的其它材料，诸如低碳钢或多孔表面；并使用洁净室技术以避免污染。

此外，为了减少在超高真空系统中实现极限压力所花费的时间，通常的做法是提高真空室和泵的温度以提高从它们的表面的析出速率。

类似地，真空泵及其部件也可以在工业制造环境（诸如半导体加工）中被加热。在这些工艺中，维持高的泵温度可以防止液体和/或固体从气流中冷凝和/或升华，从而防止泵和/或管道系统不得不处理颗粒并允许气体分子更容易地被泵送。

传统的热源可以包括构建在真空系统或其部件中的线加热元件，或者附接到或缠绕在系统的外表面周围的胶带、电缆和带，其又被覆盖在隔热层或其它绝缘材料中。

已经发现这种类型的传统加热方法存在某些缺点。例如，当使用加热电缆时，可能难以实现热源和表面之间的均匀接触：导致可变的表面温度和差的热传递。

如将理解的，取决于系统的具体情况，冷点可能不充分地脱气，或者相反地可能促进冷凝或升华，这又可能对总体系统压力和/或性能具有有害影响。缝制护套加热器改善了这些问题中的一些；然而，它们是定制制造的，因此通常过于昂贵。

本实用新型至少在一定程度上解决了与现有技术相关的这些和其它问题。

实用新型内容

因此，在第一方面，本实用新型提供了一种用于加热真空系统或其部件的多层加热器涂层。所述多层加热器涂层包括：结合到所述真空系统或其部件的表面的内绝缘层；加热器层，其涂覆所述内绝缘层的外表面；以及外绝缘层，其包括涂覆所述加热器层的外表面的陶瓷或玻璃。内绝缘层和外绝缘层均具有比加热器层更大的电阻。外绝缘层比内绝缘层导热性差。任选地，多层加热器涂层可以包括至少部分地涂覆外绝缘层的外表面的密封层。

优选地，所述内绝缘层直接结合到所述真空系统或其部件的表面；也就是说在内绝缘层与真空系统或其部件的表面之间没有任何中间层或涂层。

优选地，多层加热器涂层由或基本上由内绝缘层、加热器层、外绝缘层、任选的密封层组成。还可以提供电连接器，用于向加热层提供电流。