[发明专利]用于涂层部件的方法在审
申请号: | 201980101845.0 | 申请日: | 2019-11-06 |
公开(公告)号: | CN114729447A | 公开(公告)日: | 2022-07-08 |
发明(设计)人: | 简·萨博;蒂尔·默克尔;格尔德·斯佩尔莱 | 申请(专利权)人: | 威兰德-沃克公开股份有限公司;威兰德威科阿泰克有限公司 |
主分类号: | C23C16/40 | 分类号: | C23C16/40 |
代理公司: | 中国商标专利事务所有限公司 11234 | 代理人: | 桑丽茹 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种用于涂层部件的方法,其中,该方法包括以下步骤:‑提供气相,该气相含有至少一种四烷氧基硅烷作为第一含硅前体,至少一种具有苯基、乙烯基、烯丙基、硫醇、氨基、丙烯酰氧基、环氧化物、腈、异氰酸酯、异硫氰酸酯或者异丁烯酸酯的基团的官能化的硅酸酯作为第二含硅前体,至少一种催化剂,水和惰性气体,任选地氢,或者由这些物质组成,其中,将这些含硅前体彼此分开地且与水和催化剂分开地计量加入该气相中,‑使第一含硅前体与水在气相中化学地反应,以形成第一反应产物,‑使第二含硅前体与水在气相中化学地反应,以形成第二反应产物,‑将反应产物沉积在部件上,其中,所有前体的反应产物一起在部件上形成基于无定形二氧化硅的涂层。 | ||
搜索关键词: | 用于 涂层 部件 方法 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的