[发明专利]激光装置、激光加工系统和电子器件的制造方法在审
| 申请号： | 201980097927.2 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN114072976A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 铃木章义;五十岚裕纪 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/0941 | 分类号： | H01S3/0941 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于英慧;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的一个观点的激光装置具有：多个半导体激光器；多个光开关，它们被配置在多个半导体激光器各自的光路上；波长转换系统，其对从多个光开关输出的脉冲光进行波长转换，而生成波长转换光；ArF准分子激光放大器，其对波长转换光进行放大；以及控制器，其对多个半导体激光器和多个光开关的动作进行控制，多个半导体激光器分别输出使波长转换光的波长成为基于ArF准分子放大器的放大波长、且与氧对光的吸收线不同的波长的激光。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 装置 加工 系统 电子器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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