[发明专利]激光装置、激光加工系统和电子器件的制造方法

权利要求书

1.一种激光装置，其具有：

多个半导体激光器；

多个光开关，它们被配置在所述多个半导体激光器各自的光路上；

波长转换系统，其对从所述多个光开关输出的脉冲光进行波长转换，而生成波长转换光；

ArF准分子激光放大器，其对从所述波长转换系统输出的所述波长转换光进行放大；以及

控制器，其对所述多个半导体激光器和所述多个光开关的动作进行控制，

其中，

所述多个半导体激光器分别构成为，输出使从所述波长转换系统输出的所述波长转换光的波长为所述ArF准分子激光放大器的放大波长的激光，

从所述多个半导体激光器分别输出的所述激光的波长彼此不同，

所述多个半导体激光器分别输出使所述波长转换光的波长成为与氧对光的吸收线不同的波长的所述激光。

2.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

所述多个半导体激光器分别通过连续波振荡而输出所述激光，

所述多个光开关分别构成为，在由所述控制器分别指定的定时对从所述多个半导体激光器分别输出的所述激光进行脉冲化而输出。

3.根据权利要求2所述的激光装置，其中，

所述多个光开关分别通过包含对光的通过定时进行控制的动作和对光进行放大的动作在内的动作，进行所述脉冲化。

4.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

所述多个光开关是半导体光放大器。

5.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

所述多个半导体激光器是分布反馈型的半导体激光器，

所述控制器指定所述多个半导体激光器各自的振荡波长。

6.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

所述吸收线存在于由所述波长转换系统生成的多个所述波长转换光的波长中的至少任意2个波长之间。

7.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

所述波长转换系统生成作为所述波长转换光的4次谐波光。

8.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

所述激光装置还具有光放大器，所述光放大器被配置在所述多个光开关与所述波长转换系统之间的光路上。

9.根据权利要求8所述的激光装置，其中，

所述光放大器是使用掺钛蓝宝石晶体的掺钛蓝宝石放大器。

10.根据权利要求8所述的激光装置，其中，

所述光放大器是使用掺杂有杂质的光纤的纤维放大器。

11.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

所述波长转换系统生成作为所述波长转换光的2次谐波光。

12.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

多个所述波长转换系统被串联配置在光路上。

13.根据权利要求12所述的激光装置，其中，

包含通过所述波长转换系统的波长转换而生成的多个波长在内的多线的脉冲激光被输入到所述ArF准分子激光放大器，

所述多线的各线的峰值波长中的最大波长与最小波长之差超过200pm。

14.根据权利要求13所述的激光装置，其中，

所述多线的各线的峰值波长中的最大波长与最小波长之差为450pm以下。