[发明专利]磁悬浮系统、磁悬浮系统的基座和载体以及悬浮载体的方法在审
| 申请号： | 201980095601.6 | 申请日： | 2019-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113710828A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 亨宁·奥斯特;蒂莫·艾德勒;克莱门斯·皮汉 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56;C23C16/458;C23C16/54;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用于运输载体(10)的磁悬浮系统(100)。所述磁悬浮系统包括：限定运输轨道的基座(20)；沿所述运输轨道相对于所述基座(20)可移动的载体(10)；和设置在所述基座(20)处并且被构造为面向所述载体的导向结构(12)的多个主动磁轴承(30)。所述导向结构(12)包括被构造为与所述多个主动磁轴承(30)相互作用的第一导向区(13)和第二导向区(14)，以及凹陷区(15)。所述凹陷区(15)在所述载体的运输方向(T)上布置在所述第一导向区(13)与所述第二导向区(14)之间并且相对于所述第一导向区(13)和所述第二导向区(14)凹陷。 | ||
| 搜索关键词： | 磁悬浮 系统 基座 载体 以及 悬浮 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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