[发明专利]成膜掩模的制造方法在审
| 申请号： | 201980094895.0 | 申请日： | 2019-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN113646461A | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 崎尾进;岸本克彦 | 申请（专利权）人： | 堺显示器制品株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 王娟;郝家欢 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种成膜掩模的制造方法，该成膜掩模具有在以拉伸在框架上的状态固定的掩模基材的有源区域形成部排列成矩阵状的多个开口部，包括：工序A，准备初始状态的掩模基材，初始状态的掩模基材以规定的条件被拉伸的状态下固定于框架，使得能够规定xy面；工序B，准备所确定的多个开口部的每一个在xy面中的位置的目标坐标数据；工序C：对多个开口部的每一个，预测由于形成开口部而产生的从目标坐标数据开始的位移量，生成减去位移量的校正数据；以及工序D：在基于目标坐标数据和校正数据确定的位置形成多个开口部的每一个；在工序C中关于多个开口部的每一个的校正数据与形成多个开口部的顺序相关联，且在工序D中多个开口部按照顺序形成。 | ||
| 搜索关键词： | 成膜掩模 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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