[发明专利]可变输出阻抗RF发生器

摘要

公开了无需匹配网络的各种RF等离子体系统。在一些实施例中，所述RF等离子体系统包括：能量存储电容器；开关电路，其与所述能量存储电容器耦合，所述开关电路产生具有脉冲幅度和脉冲频率的多个脉冲，所述脉冲幅度大于100伏特；谐振电路，其与所述开关电路耦合。在一些实施例中，所述谐振电路包括：变压器，其具有初级侧和次级侧；和电容器、电感器和电阻器中的至少一个。在一些实施例中，所述谐振电路具有实质上等于所述脉冲频率的谐振频率，并且所述谐振电路将所述脉冲幅度增加到大于2kV的电压。