[发明专利]靶、成膜装置和成膜对象物的制造方法在审
| 申请号： | 201980089825.6 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN113330138A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 鸟居博典;影山浩二 | 申请（专利权）人： | JSWAFTY公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 南霆;李有财 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的是谋求靶构件的长寿命化。通过将靶(TA2)的构造形成为对称构造，实现能够翻转的结构。由此，即使在等离子体密度较高的等离子体生成部侧的靶构件(71)的消耗增大，也能够通过使靶(TA2)翻转而将位于等离子体密度较低的成膜对象物侧的消耗较少的靶构件(71)的部位再配置于等离子体密度较高的等离子体生成部侧。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 对象 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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