[发明专利]工件保持部旋转单元及真空处理装置在审
| 申请号： | 201980089399.6 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN113316661A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 高田直毅;竹内慎;荒木宏祐;东大助;森山和男;清水裕贵 | 申请（专利权）人： | 东和株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 贺财俊;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种工件保持部旋转单元，可应对真空处理的角度依赖性。本发明包括：旋转轴20；旋转轮40，能够以所述旋转轴20为中心进行旋转；多个工件保持部60，能够保持工件W，配置成在以所述旋转轴20为中心的圆周上排列，且以能够以相对于所述旋转轴20的轴线倾斜的轴线为中心进行旋转的方式设置于所述旋转轮40；以及固定圆盘70，形成为以所述旋转轴20为中心的圆盘状，并且配置成与多个所述工件保持部60接触，伴随着所述旋转轮40的旋转使所述工件保持部60旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 保持 旋转 单元 真空 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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