[发明专利]微型精密掩膜板及其制作方法和AMOLED显示器件有效
| 申请号： | 201980083882.3 | 申请日： | 2019-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN113286916B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 陈鼎国 | 申请（专利权）人： | 寰采星科技（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H10K59/12;H10K71/16 |
| 代理公司： | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人： | 卢春燕 |
| 地址： | 315174 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种微型精密掩膜板及其制作方法和主动阵列式有机发光二极管显示器件(Active Matrix Organic Light Emitting Diode Display,AMOLED)，制作方法包括如下步骤：S1、选取基板并进行清洗；S2、在基板上制作掩膜板本体，所述掩膜板本体包括依次设置的离形层、第一金属镀膜与第二金属镀膜，或依次设置的有机高分子层、第一金属镀膜与第二金属镀膜；S3、在第二金属镀膜上焊接掩膜板框架，并制作贯穿掩膜板本体的多个微孔，或制作贯穿掩膜板本体的多个微孔并在第二金属镀膜上焊接掩膜板框架；获得微型精密掩膜板。通过本发明的制备方法获得的微型精密掩膜板可蒸镀有机发光器件，制作出以红绿蓝或其它颜色发光器件为子画素设计组合而成的超高分辨率全彩有机发光二极体(OLED)显示器件。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 精密 掩膜板 及其 制作方法 amoled 显示 器件 | ||
【主权项】：
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