[发明专利]用于制造微机电传感器的方法和微机电传感器在审
| 申请号： | 201980075110.5 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN113056437A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | A·克罗嫩贝格尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提出一种用于制造微机电传感器(1)的方法，其中，微机电传感器(1)通过罩晶片(2)与传感器晶片(3)的连接制造，其中，罩晶片(2)具有用于使罩晶片(2)与传感器晶片(3)连接的键合结构(4)，其中，传感器晶片(3)具有传感器芯(5)，该传感器芯具有可运动结构(6)，并且罩晶片(2)具有用于限界可运动结构(6)的偏移的止挡结构(7)，其中，方法具有第一步骤和在第一步骤之后进行的第二步骤，其中，止挡结构(7)的止挡面位于未加工的罩晶片的初始面的水平上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 微机 传感器 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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