[发明专利]用于掩模版位置和力的实时检测的传感器阵列在审
| 申请号： | 201980073826.1 | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112969972A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | R·V·古纳瓦尔达那;V·A·佩雷斯-福尔肯;S·L·史密斯;M·A·基耶达;E·J·芒可曼;A·布朗 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种被配置成将掩模版保持在掩模版平台上的固定平面中的夹持设备包括：夹具、传感器和控制器。所述传感器设置在所述夹具的前侧上且被配置成在掩模版交换过程期间检测所述掩模版在掩模版交换区域中的位置。所述掩模版的所述位置包括所述掩模版的后侧与所述夹具的所述前侧之间的竖直距离、以及所述掩模版的所述后侧与所述夹具的所述前侧之间的相对倾角。所述控制器联接至所述传感器且被配置成基于由所述传感器检测的所述掩模版的所述位置来控制所述夹具的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 模版 位置 实时 检测 传感器 阵列 | ||
【主权项】：
暂无信息
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