[发明专利]离子源在审
| 申请号： | 201980068077.3 | 申请日： | 2019-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN112889129A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 长谷川英树;杉山益之;桥本雄一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金成哲;宋春华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于通过既确保隔热性又将加热气体的温度分布均匀化，从而提高离子源的安全性、稳定性。本发明的离子源在保持离子探针的探针保持部内具备气体导入口，使加热气体的温度上升的加热部和上述气体导入口之间通过沿上述离子探针的延伸方向延伸且互相独立的多个配管连接(参照图4)。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 | ||
【主权项】：
暂无信息
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