[发明专利]离子源

说明书

本发明的目的在于通过既确保隔热性又将加热气体的温度分布均匀化，从而提高离子源的安全性、稳定性。本发明的离子源在保持离子探针的探针保持部内具备气体导入口，使加热气体的温度上升的加热部和上述气体导入口之间通过沿上述离子探针的延伸方向延伸且互相独立的多个配管连接(参照图4)。

技术领域

本发明涉及离子源。

背景技术

在用于质量分析等的电喷雾法(以下，称为“ESI”法)等离子化法中，为了提高离子化效率，通过加热气体将从毛细管呈雾状喷出的试样溶液气化是很重要的。

使用离子化法的一般的质量分析仪具备按照例如ESI法将试样溶液离子化的离子源。离子化使用的加热气体温度非常高，因此优选使用者接触的部分与加热气体隔热。例如，在将离子源安装于腔室时，如果离子源的上游部分露出于腔室外，则优选将离子源的上游部分与加热气体隔热。

下记专利文献1记载了应付上述课题的结构。该文献中，为了将使用者触碰到的部位、离子源的箱体隔热，在离子化探针的下端位置配置气体加热部，由此将上游部隔热。另外，为了仅在下端部的狭窄的范围高效地加热气体，将气体入口和气体出口设为对置位置，在此之间配置分割成两个的圆环状的加热部，由此确保加热范围。另外，通过使加热气体的喷雾喷嘴中心和加热气体流路中心偏心，能够将气体流路下游的更高温的气体供给至喷嘴。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第6136773号

发明内容

发明所要解决的课题

专利文献1中，加热气体的喷雾喷嘴中心相对于加热气体流路中心偏心，因此，气体温度在径向上不均。另外，相对于加热气体流路的气体入口为一处，因此由于加热前的低温气体的影响，入口侧的温度降低，这也导致径向的气体温度的不均。另外，加热气体温度也根据加热气体流路内的位置不同而不同，因此这也导致径向的气体温度的不均。

本发明鉴于上述的课题而作成，目的在于通过既确保隔热性又将加热气体的温度分布均匀化，从而提高离子源的安全性、稳定性。

用于解决课题的方案

本发明的离子源在保持离子探针的探针保持部内具备气体导入口，使加热气体的温度上升的加热部和上述气体导入口之间通过沿上述离子探针的延伸方向延伸且彼此独立的多个配管连接。

发明的效果

根据本发明的离子源，通过利用配管将加热部和气体导入口之间分离，能够将具有使用者触碰到的可能性的离子源的上游部分从加热部分离。由此，离子源的安全性提高。另外，通过经由多个配管对加热部供给加热气体，能够使加热部的加热气体的分布均匀化。由此，能够将加热气体的温度分布、流量分布均匀化，因此稳定性提高。

附图说明

图1是表示现有的一般的质量分析仪的结构的图。

图2是表示离子生成部105的前端部122的一般的详细构造的图。

图3是实施方式1的质量分析仪1的结构图。

图4是表示离子生成部5的详细构造的图。

图5是以相对于毛细管8的延伸方向垂直的平面切割气体加热部41得到的剖视图。

图6是配管40和气体加热部41的温度分布图像。

图7是作为比较例仅配置一个配管40的情况的气体加热部41的剖视图。

图8是图7所示的气体加热部41的XZ平面的温度分布图。

图9是作为比较例配置两个配管40的情况的气体加热部41的剖视图。