[发明专利]离子源

权利要求书

1.一种离子源，将试样离子化，其特征在于，具备：

探针，其供含有上述试样的溶液通过；

加热气体喷射口，其喷射对从上述探针喷射出的物质进行加热的加热气体；

加热部，其在上述加热气体喷射口喷射上述加热气体前使上述加热气体的温度上升；以及

气体导入口，其对上述离子源供给上述加热气体，

上述加热部具备接受从上述气体导入口对上述离子源供给的上述加热气体的第一加热部气体入口及第二加热部气体入口，

上述气体导入口和上述第一加热部气体入口之间通过沿上述探针延伸的方向延伸的第一配管连接，

上述气体导入口和上述第二加热部气体入口之间通过沿上述探针延伸的方向延伸的第二配管连接，

上述第一配管和上述第二配管构成为彼此流路独立的配管。

2.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，

上述加热部配置成包围上述探针的外侧面中的沿着上述探针的延伸方向的一部分区域，

上述第一配管和上述第二配管配置成在上述气体导入口与上述加热部之间的空间沿上述探针的延伸方向延伸。

3.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，

上述加热部具备产生热的发热部和通过对上述加热气体输送从上述发热部产生的热而使上述加热气体的温度上升的热交换部，

上述第一配管和上述第二配管配置成对上述热交换部供给上述加热气体，

上述加热气体喷射口构成为对上述探针的喷射口的周边空间喷射通过了上述热交换部的上述加热气体。

4.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，

上述离子源还具备保持上述探针的探针保持部，

上述探针保持部还具备：

第一分支路，其对上述第一配管输送对上述气体导入口所供给的上述加热气体；以及

第二分支路，其对上述第二配管输送对上述气体导入口所供给的上述加热气体。

5.根据权利要求4所述的离子源，其特征在于，

上述第一分支路和上述第二分支路构成为，从上述气体导入口经由上述第一分支路到达上述第一配管的上述加热气体的流路长度和从上述气体导入口经由上述第二分支路到达上述第二配管的上述加热气体的流路长度彼此相等。

6.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，

上述加热部具有包围沿着上述探针延伸的方向的一部分区域的圆筒形状，

上述第一加热部气体入口和上述第二加热部气体入口在相对于上述探针延伸的方向垂直的平面上在上述探针的周围等间隔配置。

7.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，

上述加热气体喷射口形成为包围上述探针的周边的圆环状。

8.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，

上述加热部具备产生热的发热部和通过对上述加热气体输送从上述发热部产生的热而使上述加热气体的温度上升的热交换部，

上述热交换部由球体的充填物构成。

9.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，

上述加热部具备产生热的发热部和通过对上述加热气体输送从上述发热部产生的热而使上述加热气体的温度上升的热交换部，

上述热交换部由多孔材料构成。

10.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，

上述加热部具备产生热的发热部和通过对上述加热气体输送从上述发热部产生的热而使上述加热气体的温度上升的热交换部，

上述热交换部具有使上述加热气体通过且折弯的流路。

11.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，

上述加热部和上述加热气体喷射口之间通过使上述加热气体通过且折弯的流路连接。