[发明专利]多晶硅的防污方法在审
| 申请号： | 201980068037.9 | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112839901A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 浅野卓也;吉村聪子 | 申请（专利权）人： | 株式会社德山 |
| 主分类号： | C01B33/02 | 分类号： | C01B33/02;C01B33/035;B29C48/08;B29C48/10;B29C48/28;B29C48/305;B29C48/32 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本山口*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于，在利用树脂片进行的多晶硅的防污中，有效防止源自树脂片的多晶硅的污染。本发明的多晶硅的防污方法的特征在于，使用具有内表面和外表面的管状树脂片来对多晶硅进行防污时，将该管状树脂片或其经切割而得的树脂片以不露出其内表面的状态保持，在即将使用之前使上述内表面露出并与多晶硅接触。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 防污 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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