[发明专利]氧化物层叠体及其制造方法在审
| 申请号： | 201980063611.1 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN112888808A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 上冈義弘;笘井重和;胜又聪;久志本真希;出来真斗;本田善央;天野浩 | 申请（专利权）人： | 出光兴产株式会社;国立大学法人东海国立大学机构;日机装株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/14;C23C14/58;H01L21/28;H01L29/43 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 鲁炜;杨戬 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
层叠体，其具有包含III‑V族氮化物半导体的半导体层、以及电极层；电极层包含镁氧化物和锌氧化物，电极层中镁相对于镁和锌的总计的摩尔比[Mg/（Mg＋Zn）]为0.25以上且0.75以下，电极层的电导率为1.0×10 |
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| 搜索关键词： | 氧化物 层叠 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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