[发明专利]通过生成对抗网络的超分辨率缺陷重检图像生成有效
| 申请号： | 201980061902.7 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN112740021B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | A·潘迪;B·里斯;H·法加里亚;永·张;R·拉克哈瓦特 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G06T7/00;G06N3/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种用于分析样本的系统，其包含检验子系统及至少一个控制器。所述检验子系统经配置以扫描样本以收集具有第一图像分辨率的第一多个样本图像。所述控制器经配置以基于所述第一多个样本图像来生成缺陷列表。所述控制器经进一步配置以将对应于所述缺陷列表的图像输入到使用源数据来训练的神经网络中，所述源数据包含具有所述第一图像分辨率的样本图像及具有高于所述第一图像分辨率的第二图像分辨率的样本图像。所述控制器经进一步配置以由所述神经网络基于对应于所述缺陷列表的所述图像来生成第二多个样本图像，其中所述第二多个样本图像具有所述第二图像分辨率且对应于所述缺陷列表。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 生成 对抗 网络 分辨率 缺陷 图像 | ||
【主权项】：
暂无信息
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