[发明专利]通过生成对抗网络的超分辨率缺陷重检图像生成

说明书

本发明揭示一种用于分析样本的系统，其包含检验子系统及至少一个控制器。所述检验子系统经配置以扫描样本以收集具有第一图像分辨率的第一多个样本图像。所述控制器经配置以基于所述第一多个样本图像来生成缺陷列表。所述控制器经进一步配置以将对应于所述缺陷列表的图像输入到使用源数据来训练的神经网络中，所述源数据包含具有所述第一图像分辨率的样本图像及具有高于所述第一图像分辨率的第二图像分辨率的样本图像。所述控制器经进一步配置以由所述神经网络基于对应于所述缺陷列表的所述图像来生成第二多个样本图像，其中所述第二多个样本图像具有所述第二图像分辨率且对应于所述缺陷列表。

相关申请案的交叉参考

本申请案主张名叫阿努杰·潘迪(Anuj Pandey)、布拉德·里斯(Brad Ries)、希曼舒·瓦贾里亚(Himanshu Vajaria)、张勇(Yong Zhang)及拉胡尔·拉卡瓦特(RahulLakhawat)的发明者在2018年9月21申请的标题为“通过生成对抗网络的超分辨率缺陷重检图像生成(SUPER-RESOLUTION DEFECT REVIEW IMAGE GENERATION THROUGH GENERATIVEADVERSARIAL NETWORKS)”的第201841035629号印度临时专利申请案的优先权，所述申请案的全文以引用的方式并入本文中。本申请案还主张名叫阿努杰·潘迪(Anuj Pandey)、布拉德·里斯(Brad Ries)、希曼舒·瓦贾里亚(Himanshu Vajaria)、张勇(Yong Zhang)及拉胡尔·拉卡瓦特(Rahul Lakhawat)的发明者在2018年11月2日申请的标题为“通过生成对抗网络的超分辨率缺陷重检图像生成(SUPER RESOLUTION DEFECT REVIEW IMAGEGENERATION THROUGH GENERATIVE ADVERSARIAL NETWORKS)”的第62/755,224号美国临时专利申请案的优先权，所述申请案的全文以引用的方式并入本文中。

技术领域

本发明大体上涉及用于样本分析的系统及方法，且更特定来说，本发明涉及用于缺陷检验及重检的系统及方法。

背景技术

样本分析系统(例如检验系统)经设计以按较快速率执行缺陷检验。对于典型图案化晶片，工作运行可包含以下步骤：(1)将晶片装载于预对准器上；(2)切口对准；(3)将晶片装载于卡盘上；(4)晶片对准；(5)缺陷扫描；(6)缺陷过滤；(7)自动/自动化缺陷重检(ADR)；及(8)卸除晶片，接着保存缺陷图像(及参考图像(如果存在))。在此过程中，处理量主要受缺陷扫描及ADR步骤影响。

在现存ADR方案中，在检验扫描之后，检验系统/工具切换到重检物镜且接着转到每一缺陷位置、获得焦点及抓取图像。有时，当晶片Z轮廓不平坦时，重检甚至会经历散焦。当前ADR过程的一些缺点是：ADR需要较长时间(用于收集每一缺陷位置处的较高分辨率图像)，可归因于不规则晶片平坦度轮廓而发生散焦问题，且存在重检物镜与晶片物理接触的风险。因此，需要具有改进ADR方案的样本分析系统及方法。

发明内容

根据本发明的一或多个说明性实施例，揭示一种用于分析样本的系统。在一个说明性实施例中，所述系统包含检验子系统及控制器。在实施例中，所述检验子系统经配置以扫描样本以收集具有第一图像分辨率的多个第一样本图像。在实施例中，所述控制器经配置以基于所述多个第一样本图像来生成缺陷列表。在实施例中，所述控制器经进一步配置以将对应于所述缺陷列表的图像输入到使用源数据来训练的神经网络中，所述源数据包含具有所述第一图像分辨率的样本图像及具有高于所述第一图像分辨率的第二图像分辨率的样本图像。在实施例中，所述控制器经进一步配置以由所述神经网络基于对应于所述缺陷列表的所述图像来生成第二多个样本图像，其中所述第二多个样本图像具有所述第二图像分辨率且对应于所述缺陷列表。