[发明专利]MEMS麦克风组件和制造MEMS麦克风组件的方法有效
| 申请号： | 201980061623.0 | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN113170265B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 戈兰·斯托扬诺维奇;科林·斯蒂尔;西蒙·穆勒;托马斯·弗勒利希;艾瑞克·扬·劳斯;安德森·辛格拉尼 | 申请（专利权）人： | AMS有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 罗小晨;刘继富 |
| 地址： | 奥地利普*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种微机电系统MEMS麦克风组件，包括限定第一腔(11)的壳体(10)和布置在第一腔(11)内的MEMS麦克风(20)。麦克风(20)包括具有接合结构(23)和MEMS膜片(24)的第一晶片(21)，以及具有专用集成电路ASIC的第二晶片(22)。第二晶片(22)被接合至接合结构(23)，使得在膜片(24)的第一侧(25)与第二膜片(22)之间形成间隙(28)，该间隙(28)限定第二腔(31)。膜片(24)的第一侧(25)与第二腔(31)相接，并且膜片(24)的第二侧(26)经由壳体(10)的声学进入端口(12)与环境(2)相接。接合结构(23)被布置成使得形成连接第一腔(11)和第二腔(31)的压力通风开口(30)。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 组件 制造 方法 | ||
【主权项】：
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