[发明专利]制造超声波传感器的方法在审
| 申请号： | 201980055688.4 | 申请日： | 2019-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN113016085A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 金永圭;朴庆玉;李承晋 | 申请（专利权）人： | 株式会社BTBL |
| 主分类号： | H01L41/43 | 分类号： | H01L41/43;H01L41/09;H01L41/047;H01L41/187 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 蔡胜有;苏虹 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了制造超声波传感器的方法。所述方法包括：在可蚀刻基板上形成具有凹部和凸部的微图案，在微图案的凹部中填充压电材料，对填充的压电材料加压，对压电材料进行烧结以形成初级压电体，对初级压电体进行再烧结以形成密实的单位压电体，以及在每个单位压电体的两端形成电极端子以产生单位压电单元。该方法使得能够以高良品率制造高品质超声波传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 超声波传感器 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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