[发明专利]压电致动器、致动器系统、衬底支撑件和包括致动器的光刻设备在审
| 申请号： | 201980053400.X | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN112567541A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | B·简森;H·巴特勒;A·P·戴克舒恩 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 所披露的压电致动器(40)包括第一对电极(410)、第二对电极(420)、以及具有第一表面(44)和第二表面(46)的压电材料(42)。所述第一表面沿第一方向(x)和第二方向(y)布置。所述第一对电极包括被布置在所述第一表面上的第一电极和被布置在所述第二表面上的第二电极。所述第二对电极被布置在另一表面(430,432)上以剪切所述压电材料。所述第一对电极被布置用以沿垂直于第一方向和第二方向的第三方向(z)伸长所述压电材料。所述第一电极被分成至少两个部分(410a,410b)并且被布置用以绕所述第一方向将所述第一表面和所述第二表面相对于彼此旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 致动器 系统 衬底 支撑 包括 光刻 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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