[发明专利]压电致动器、致动器系统、衬底支撑件和包括致动器的光刻设备

权利要求书

1.一种压电致动器，所述压电致动器包括：

具有第一表面和第二表面的压电材料，其中所述第一表面沿第一方向和第二方向布置；

第一对电极，所述第一对电极包括被布置在所述第一表面上的第一电极和被布置在所述第二表面上的第二电极；

第二对电极，所述第二对电极被布置用以剪切所述压电材料，

其中所述第一对电极被布置用以沿垂直于第一方向和第二方向的第三方向伸长所述压电材料，

其特征在于，

所述第一电极被分成至少两个部分。

2.根据权利要求1所述的压电致动器，其中，所述第一电极被布置用以使所述第一表面和所述第二表面绕所述第一方向相对于彼此旋转。

3.根据权利要求1或2所述的压电致动器，其中，所述第二对电极被布置用以当剪切所述压电材料时使所述第一表面和所述第二表面相对于彼此移动。

4.根据前述权利要求之一所述的压电致动器，其中，所述至少两个部分沿所述第一方向延伸跨越所述第一表面。

5.根据前述权利要求之一所述的压电致动器，其中，所述至少两个部分包括九个部分，其中这九个部分被布置成沿所述第一方向的三行和沿所述第二方向的三列。

6.根据前述权利要求之一所述的压电致动器，其中，所述第一电极延伸超出所述第一表面。

7.根据权利要求6所述的压电致动器，其中，所述第二对电极包括被布置在第三表面上的第三电极和被布置在第四表面上的第四电极，其中所述第一电极延伸到所述第三表面和第二表面中的至少一个表面上。

8.根据前述权利要求之一所述的压电致动器，包括第三对电极，

其中，所述第三对电极被布置用以剪切所述压电材料，

其中，所述第三对电极被布置用以当剪切所述压电材料时使将所述第一表面和所述第二表面沿所述第一方向相对于彼此移动。

9.根据权利要求8所述的压电致动器，其中，所述第三对电极包括被布置在第五表面上的第五电极和被布置在第六表面上的第六电极，其中所述第一电极延伸到所述第五表面和所述第六表面中的至少一个表面上。

10.一种压电致动器系统，所述压电致动器系统包括根据前述权利要求之一所述的压电致动器，所述压电致动器系统还包括放大器，其中所述放大器被布置用以为所述部分中的一个部分提供第一电压或电荷并且为所述部分中的另一部分提供第二电压或电荷，其中所述第一电压或电荷不同于所述第二电压或电荷。

11.根据权利要求10所述的压电致动器系统，其中，所述放大器包括多个放大器，其中所述多个放大器中的一个放大器被布置用以提供所述第一电压或电荷，并且其中所述多个放大器中的另一放大器被布置用以提供所述第二电压或电荷。

12.一种被布置用以支撑衬底的衬底支撑件，所述衬底支撑件包括多个根据权利要求1至9所述的压电致动器，其中所述多个压电致动器被布置用以支撑所述衬底。

13.一种光刻设备，所述光刻设备包括：

掩模支撑件，所述掩模支撑件被布置用以保持具有图案的图案形成装置，

衬底支撑件，所述衬底支撑件被布置用以支撑衬底，

投影系统，所述投影系统被布置用以将所述图案投影在衬底上，

其中所述掩膜支撑件和所述衬底支撑件中的至少一个具备多个根据权利要求1至9所述的压电致动器，

其中所述多个压电致动器被布置用以支撑所述图案形成装置和所述衬底之一。