[发明专利]卡盘的抓握精度确认方法、卡盘的爪更换方法和卡盘的抓握精度确认装置在审
| 申请号： | 201980053313.4 | 申请日： | 2019-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN112566743A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 永翁博 | 申请（专利权）人： | 丰和工业株式会社 |
| 主分类号： | B23B31/00 | 分类号： | B23B31/00;B23Q3/06;B23Q17/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡曼 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 卡盘的抓握精度确认方法包括：将测量对象物抓握于爪的抓握工序、移动工序和测量工序。在移动工序中，通过对移动体驱动部进行驱动，使设置有能对测量对象物的振动进行测量的测量器的移动体移动到测量器能对测量对象物的振动进行测量的位置。在测量工序中，一边通过对旋转驱动部进行驱动而使卡盘旋转，一边利用测量器对测量对象物的振动进行测量。 | ||
| 搜索关键词： | 卡盘 精度 确认 方法 更换 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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