[发明专利]卡盘的抓握精度确认方法、卡盘的爪更换方法和卡盘的抓握精度确认装置

权利要求书

1.一种卡盘的抓握精度确认方法，在所述卡盘的抓握精度确认方法中，将测量对象物抓握于卡盘的爪并确认抓握精度，

包括：

抓握工序，在所述抓握工序中，将所述测量对象物抓握于所述爪；

移动工序，在所述移动工序中，通过对移动体驱动部进行驱动，使设置有能对所述测量对象物的振动进行测量的测量器的移动体移动到所述测量器能对所述测量对象物的振动进行测量的位置；以及

测量工序，在所述测量工序中，一边通过对旋转驱动部进行驱动使所述卡盘旋转，一边利用所述测量器对所述测量对象物的振动进行测量。

2.如权利要求1所述的卡盘的抓握精度确认方法，其特征在于，

所述移动体驱动部包括升降驱动部、轴向移动驱动部和横向移动驱动部，所述升降驱动部使所述移动体升降，所述轴向移动驱动部使所述移动体沿所述卡盘的轴向移动，所述横向移动驱动部在沿轴向观察时使所述移动体沿横向移动。

3.如权利要求1或2所述的卡盘的抓握精度确认方法，其特征在于，

所述测量工序具有第一测量工序和第二测量工序，在所述第一测量工序中，对所述测量对象物的圆筒外周面的振动进行测量，在所述第二测量工序中，对所述测量对象物的前端面的振动进行测量。

4.如权利要求3所述的卡盘的抓握精度确认方法，其特征在于，

所述测量器具有第一测量器和第二测量器，所述第一测量器能对上下方向的变位进行测量，所述第二测量器能对水平方向的变位进行测量。

5.如权利要求4所述的卡盘的抓握精度确认方法，其特征在于，

在所述移动工序中，通过对所述移动体驱动部进行驱动，使所述移动体移动到所述第一测量器能对所述测量对象物的振动进行测量的位置，

在所述第一测量工序中，利用所述第一测量器对所述测量对象物的所述圆筒外周面的振动进行测量，

在所述第一测量工序之后，通过对所述移动体驱动部进行驱动，使所述移动体移动到所述第二测量器能对所述测量对象物的振动进行测量的位置，

在所述第二测量工序中，利用所述第二测量器对所述测量对象物的所述前端面的振动进行测量。

6.如权利要求1～5中任一项所述的卡盘的抓握精度确认方法，其特征在于，

在所述抓握工序中，所述测量对象物通过所述移动体被搬运到所述卡盘。

7.一种卡盘的爪更换方法，包括：

更换工序，在所述更换工序中，对卡盘的爪进行更换；以及

抓握精度确认工序，在所述抓握精度确认工序中，利用权利要求1～5中任一项所记载的卡盘的抓握精度确认方法来确认所述更换工序之后的所述卡盘的抓握精度。

8.一种卡盘的抓握精度确认装置，所述卡盘的抓握精度确认装置将测量对象物抓握于卡盘的爪并确认抓握精度，

包括：

旋转驱动部，所述旋转驱动部使所述卡盘旋转；

移动体，所述移动体相对于所述卡盘能移动地设置；

移动体驱动部，所述移动体驱动部使所述移动体相对于所述测量对象物移动；

测量器，所述测量器设置于所述移动体，并且对所述测量对象物的振动进行测量；以及

控制部，

所述控制部对所述旋转驱动部、所述移动体驱动部和所述测量器进行控制，以使所述移动体移动到所述测量器能对所述测量对象物的振动进行测量的位置后，一边使所述卡盘旋转，一边利用所述测量器对所述测量对象物的振动进行测量。

9.如权利要求8所述的卡盘的抓握精度确认装置，其特征在于，

所述移动体驱动部包括升降驱动部、轴向移动驱动部和横向移动驱动部，所述升降驱动部使所述移动体升降，所述轴向移动驱动部使所述移动体沿所述卡盘的轴向移动，所述横向移动驱动部在沿轴向观察时使所述移动体沿横向移动。