[发明专利]液压成形冷却装置的弯曲方法和弯曲的液压成形冷却装置在审
| 申请号： | 201980051628.5 | 申请日： | 2019-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN112534355A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | F.卡拉;J.泽特谢尔 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B21D9/15;B21D26/00;F28D15/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于微光刻投射印刻系统的冷却装置的弯曲方法，该方法包括以下步骤：提供特别地未弯曲的冷却装置(100)，其包括至少一个腔体(108)；至少在所述冷却装置(100)的待弯曲的一个区域中用液态低温介质(110)填充所述至少一个腔体(108)；使所述冷却装置(100)冷却，使得在所述腔体(108)中存在的介质(110)冷却至低于其熔化温度，并且至少部分地固化；弯曲所述冷却装置(100)，使得至少部分固化的介质(110)防止所述腔体(108)在弯曲期间封闭。 | ||
| 搜索关键词： | 液压 成形 冷却 装置 弯曲 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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