[发明专利]空间可变晶圆偏置功率系统在审
| 申请号： | 201980049348.0 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN112514254A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 肯尼斯·米勒;迪麦西·津巴;约翰·卡斯凯德;詹姆斯·普拉格;艾丽亚·斯劳伯道夫 | 申请（专利权）人： | 鹰港科技有限公司 |
| 主分类号： | H03K3/01 | 分类号： | H03K3/01;H03K3/017;H03K3/64;H03K3/78;H01J37/02 |
| 代理公司： | 上海君立衡知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31389 | 代理人： | 黄庆 |
| 地址： | 美国华盛顿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种等离子体沉积系统，其包括晶圆平台、第二电极、第一电极、第一高电压脉冲发生器和第二高电压脉冲发生器。在一些实施例中，所述第二电极可以部署得与所述晶圆平台接近。在一些实施例中，所述第二电极可以包括：盘形状，其具有中心孔径；中心轴；孔径直径和外径。在一些实施例中，所述第一电极可以部署得与所述晶圆平台接近并且处于所述第二电极的所述中心孔径内。在一些实施例中，所述第一电极可以包括盘形状、中心轴和外径。在一些实施例中，所述第一高电压脉冲发生器可以与所述第一电极电耦合。在一些实施例中，所述第二高电压脉冲发生器可以与所述第二电极电耦合。 | ||
| 搜索关键词： | 空间 可变 偏置 功率 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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