[发明专利]气化器、液体材料气化装置和气化方法有效
| 申请号： | 201980049167.8 | 申请日： | 2019-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN112469498B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 西川一朗;宫本英显 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场STEC |
| 主分类号： | B01J7/02 | 分类号： | B01J7/02;C23C16/448;H01L21/205;H01L21/31 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 鹿屹;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供气化器、液体材料气化装置和气化方法。一种气化器，为了不会提高喷嘴堵塞的风险，且抑制局部的冷点的发生，将液体材料或者液体材料与载气混合而成的气液混合体气化，且包括：喷嘴(L4)，引导液体材料或者气液混合体；加热流道(L5)，引导由喷嘴(L4)以雾状喷射的液体材料或者气液混合体；以及高温气体供给通道(L6)，向加热流道(L5)供给高温气体。 | ||
| 搜索关键词： | 气化 液体 材料 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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