[发明专利]芯线支架、硅制造装置及硅制造方法在审

专利信息
申请号: 201980046931.6 申请日: 2019-07-16
公开(公告)号: CN112424121A 公开(公告)日: 2021-02-26
发明(设计)人: 石川浩一;井村哲也;相本恭正 申请(专利权)人: 株式会社德山
主分类号: C01B33/035 分类号: C01B33/035
代理公司: 北京信诺创成知识产权代理有限公司 11728 代理人: 刘金峰
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种能够提高硅在硅芯线的根部的析出,而且能够提高硅在硅芯线的整体的析出的芯线支架、硅制造装置及硅制造方法。芯线支架(10A)包括具有大致圆锥台形状的碳制的芯线保持部(12A)。在芯线保持部(12A)的上端面(12a),形成有将所插入的硅芯线(4A)加以保持的芯线插入孔(13A)。大致圆锥台形状的轴线与母线所形成的角度(0)为10°以上且30°以下。芯线保持部(12A)的上端面(12a)的外周、与芯线插入孔(13A)中的硅芯线(4A)所接触的内壁面(13a)之间的芯线保持部(12A)的边缘宽度(L)在至少一处为3mm以下。
搜索关键词: 支架 制造 装置 方法
【主权项】:
暂无信息
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