[发明专利]成膜装置及成膜方法在审
| 申请号： | 201980043051.3 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN112424389A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 矢岛贵浩;中村文生;加藤裕子;植喜信;小仓祥吾 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/12;C23C14/24;H01L21/31 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 袁波;刘继富 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的一个方式涉及的成膜装置具有腔室、工作台、光源单元、气体供给部以及清洗单元。所述腔室具有：腔室主体，其具有成膜室；顶板，其安装在所述腔室主体，具有窗部。所述工作台配置在所述成膜室，具有支承基板的支承面。所述光源单元设置在所述顶板，具有经由所述窗部向所述支承面照射能量束的照射源。所述气体供给部将原料气体供给至所述成膜室，所述原料气体包含受所述能量束的照射而固化的能量束固化树脂。所述清洗单元连接至所述腔室，向所述成膜室导入清洗气体，所述清洗气体去除附着在所述顶板、腔室的所述能量束固化树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
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