[发明专利]金属有机化合物在审
| 申请号： | 201980039184.3 | 申请日： | 2019-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN112292383A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | N·劳;J·松德迈尔;A·里瓦斯纳斯;R·卡奇;A·弗雷;A·多皮乌;E·沃尔奈尔 | 申请（专利权）人： | 优美科股份公司及两合公司 |
| 主分类号： | C07F15/00 | 分类号： | C07F15/00;C23C16/18 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘学媛 |
| 地址： | 德国哈瑙*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于ALD和CVD方法中的基于双(烷基亚胺)乙二醛和双(二烷基腙)乙二醛配体与环戊二烯基和烷基配体组合的新一类挥发性金属有机化合物的合成和提供。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 有机化合物 | ||
【主权项】：
暂无信息
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