[发明专利]用于制作和放置薄片的装置在审
| 申请号： | 201980035390.7 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN112166486A | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | A·丹尼斯尤克;P·多尔埃勒 | 申请（专利权）人： | 特斯坎布尔诺公司;特斯坎奥赛控股有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/305 | 分类号： | H01J37/305 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 王丹丹;王珺 |
| 地址： | 捷克，*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种用于制作和放置薄片的装置包含聚焦离子束、扫描电子显微镜和用于放置至少两个样品的工作台，所述工作台实现所述样品的倾斜、旋转和移动，所述装置还包含由用于附接和传送所述样品的针终止的机械手。所述机械手定位于垂直于所述样品的倾斜的轴线的平面中，藉此实现轻松地传送所述薄片并将其放置入透射电子显微镜的样品架(称为网格)。所述机械手经调整以围绕其自身的轴线旋转所述针。因此，在从半导体装置制作薄片的情况下，本发明实现反转薄片并且在上面形成有半导体结构的半导体衬底层上将其抛光。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制作 放置 薄片 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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